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本机主要用于硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面研磨。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计,性能优良,完全能满足用户的使用要求。
一. 概述
1.1本机采用龙门式结构,外型美观大方,提高了整机刚度。
1.2整机的运行采用单电机拖动,通过减速机后由四组不同速比的齿轮给上研磨盘、下研磨盘、齿圈、中心轮提供不同的速度,使四种速度达到的配比,满足工艺的要求,其中中心轮相对与其它三个转速的速比可调(两级),使游轮自转可实现正转、反转,满足了不同研磨(修盘)工艺的需求。
1.3本机为下研磨盘升降方式、下研磨盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁,以满足改变游轮啮合高低位置的需要;
1.4本机继承其它研磨机压力控制的成功经验:采用四段压力,即轻压、中压、重压、修研(轻压)的运行过程;
1.5本机采用PLC、四行文本显示器,变频调速,电机速度由外设电位器手动随时调节;速度由预设的四段速度因运行时间而自动改变,四段速度的运行时间与四段压力时间相对应。设备留有工件测厚装置接口;
1.6接液盆、护圈的设计采用半露式结构,保证了设备工作时不会漏砂,并且便于用户对设备进行清理;
1.7研磨速度的匹配,符合国际上通用的研磨机理,此速度匹配已被普遍认可。
三.主要技术参数
1. 研磨盘尺寸(mm): φ1118× φ386 ×50
2. 游轮参数: 英制:齿数Z=200 DP=12 α=20°
公制:齿数Z=142 m=3 α=20°
3. 游轮数量: 5片
4. 修正轮数量: 4片
5. 最小研磨厚度: 0.50mm/φ125,0.40mm/φ100,
0.35mm/φ75
6. 研磨厚度: 30mm
7. 研磨直径及片数 φ75/17片 φ100/8片 φ125/5片
8. 研磨直径: φ350 mm
9. 下研磨盘转速: 0~60rpm
10. 主电机: 11Kw 380V 1460rpm
11. 三相电泵 AB-100 250W 100L/min
四.精度指标
1. 下研盘端面跳动0.08.
2. 上、下研磨盘平面度0.030.(只检查下盘)。
3. 太阳轮径向跳动:0.12.
4. 齿圈径向跳动;0.20.
5. 上、下研磨盘回转中心不重合度≤0.5mm.
四个修正轮精度状况:
6. 厚度一致性:0.008
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